四探針測試儀采用四探針雙電測量方法,適用于企業(yè)、等院校、科研,是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料在溫、真空及氣氛條件下測量的種重要的具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示,無需人計算,并帶有溫度補償能。采用度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,配備10英寸觸摸屏,軟件可保存和打印數(shù)據(jù),自動生成報表;本儀器可顯示電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率,配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購。
四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器符合單晶硅物理測試方法家標準并參考美A.S.T.M標準。利用電流探針、電壓探針的變換,行兩次電測量,對數(shù)據(jù)行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提度,也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測以及新材料電學(xué)性能研究等用途。
應(yīng)用:
四探針測試儀適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
四探針軟件測試系統(tǒng)是個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)行各種數(shù)據(jù)分析。